愛德華真空泵的使用注意事項

發表時間:2020-01-07 13:52 / 次瀏覽

愛德華真空泵用于抽潔凈氣體，但是注意不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學品、溶劑及粉末等。如易燃氣體、含特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等，這些氣體容易使軸承失效。

愛德華真空泵進氣溫度需要低于50℃，否則在被抽真空室與泵進氣口之間需要加冷阱，降溫至低于50℃。愛德華真空泵在抽含有水蒸汽的氣體時，要打開氣鎮閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。若是超過此極限，將會縮短氣鎮閥壽命。

愛德華真空泵出現損壞時，不可繼續使用，否則會損壞真空泵系統，還有可能引發安全事故。愛德華真空泵需要安裝電機保護開關，定期檢查確定此泵安全接地。愛德華真空泵排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內。

愛德華真空泵需要在進氣口處裝截止閥，愛德華真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是愛德華真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。注意不要刮碰進氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。

愛德華真空泵與被抽系統的管道應盡可能短而粗，管道內徑一般應不小干真空泵進氣口直徑，以避免由干管道阻力而影響抽氣速率。初次使用的愛德華真空泵還要測定極限壓強，極限壓強應符合標準。愛德華真空泵在長期工作的條件下，溫度不應超過70度。